ICS-Series (Inert Gas Circulation System)는 반도체, LCD/OLED, Smart Window 산업에서 글로브박스의 인클로저(볼륨 2m³ ~ 200m³)를 통해 산소와 수분 수준이 1ppm 이하인 순수 대기를 새롭게 자동 정화하고 순환시키고 있으며, 또한 가장 높은 작동 표준으로 자동 전환, 자동 누출 점검, 자동 정화, 자동 재생을 설계하였다. 가스 순환 중에 산소와 수분을 지속적으로 제거하기 위해 특수 송풍기와 두 개의 반응기 기둥이 설치된다. 잔류가 많은 경우를 대비하여 선택사양으로 용매 제거용 키트(bottle)도 있다.
수분, 산소, 압력과 같은 모든 공정 기본 매개 변수는 안전센서에 의해 모니터링 될 뿐만 아니라 작업 가스, 제어 가스, 재생 가스와 같은 유틸리티도 처리 중에 제어됩니다.
Sub ppm level impurity removal (O₂：< 1 ppm, H₂O:< 1 ppm:IS010648-2) with catalyst and adsorbent PLC based automatic controller with touch panel display Standard mode operation for energy saved quality control
Single & Multiple reactor columns Optimum performance for attached enclosure volume (2~200m³ models, optional up to 1,000m³) Capacity to remove 20~4,000 liter of O₂ and 1,000~200,000g of H₂O (standard model)
※ specifications are subject to change without notice
