특허 및 인증
구분 | 명칭(적용제품) | 등록일 | 출원번호 |
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특허 | 이동형 공정 잔류가스 제거장치 및 공정 잔류가스 제거방법 | 2021.03.26 | 제 10-2020-0063835호 |
특허 | 공정 잔류가스 처리용 이동형 퍼지 시스템 | 2021.03.26 | 제 10-2235005호 |
특허 | 반도체 제조용 가스 공급장치 | 2018.06.08 | 제 10-1868316호 |
특허 | 부식감지센서를 이용한 케미칼 누출 감지장치 | 2015.05.29 | 제 10-1525782호 |
특허 | 수소정제용 용기, 반응기 및 그를 이용한 수소정제방법 | 2015.02.25 | 제 10-1497952호 |
특허 | 암모니아 정제방법 | 2014.12.22 | 제 2013-0028686호 |
특허 | 부식감지센서 및 부식감지 방법 | 2014.07.30 | 제 2011-0122265호 |
특허 | 가스 누설 검사 기능을 갖는 공정가스 분배장치 | 2014.07.25 | 제2012-0046049호 |
인증 | ISO 9001: 2015 / KS Q ISO 9001: 2015 인증 | 2014.04 | KECR-233Q |
인증 | PT(압력센서) CE CERTIFICATE | 2013.11 | EC1282-1S131126.LAG3249 |
인증 | PT(압력센서) 내압 방폭 인증 (Ex d IIC T6) | 2015.09 | 15-GA2BO-0623(가스안전공사) |
인증 | PT(압력센서) 본질 안전 인증(Ex ia IIC T4) | 2020.09 | 20-KA2BO-0770(KTL) |
인증 | GP(가스정제기) 방폭 인증(Ex px IIC T4) | 2018.10.23 | 18-GA2BO-01531X(가스안전공사) |
인정 | 기술혁신형 중소기업(Inno-Biz)인정 | 2022.12 | 제22060101888호 |
인정 | 벤처기업 인정 | 2014.12 | 제2015112700호 |
인정 | 기업부설연구소 인정 | 2015.05 | 제20140113546호 |