연혁

2022

    • 12
      기술혁신형 중소기업(Inno-Biz)인증

2021

    • 11
      한국에너지기술원 패밀리기업 지정
      03
      공정 잔류가스 처리용 이동형 퍼지 시스템 특허 취득

2020

    • 10
      공정 잔류가스 처리용 이동형 퍼지 시스템 (PPS) 수행
      09
      압력센서 본질안전 인증(Ex ia IIC T4)

2019

    • 10
      한국산업 안전보건공단 위험성평가 인정서 획득

2018

    • 10
      고순도 가스 정제기 방폭 인증(Ex px IIC T4)
      01
      반도체 제조용 가스공급장치 특허 취득

2017

    • 05
      수소화 기상 증착 장비 개발(Hydride Vapor Phase Epitaxy)
      03
      반도체용 초임계 이산화탄소 가스 정제기 개발

2016

    • 05
      회사 신축 및 확장 이전 (1공장, 2공장)

2015

    • 11
      XPS장비개발
      09
      압력센서 내압방폭인증 (Ex d IIC T6)
      05
      케미컬 누출 감지장치 개발 및 특허 취득

      기업 부설 연구소 설립
      02
      메탄제거용 수소가스 정제기 개발 및 특허 취득
      01
      해양대 산학협력가족회사 인증

2014

    • 12
      암모니아 정제기 개발 및 특허 취득
      12
      벤처기업 인증
      10
      공정가스 분배장치 개발 및 특허 취득
      04
      ISO 9001:2015/KS Q, ISO 9001:2015 인증 획득
      03
      회사 이전 (Class 100 Clean Room)

2013

    • 11
      CE 인증 취득
      03
      부식감지센서 개발 및 특허 취득
      02
      반도체장비용 압력센서 (Pressure Transducer 개발)
      01
      설립