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회사소개
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연혁
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연혁
2023
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- 07
- 안전보건경영 인증취득(ISO 45001:2018 / KS Q ISO 45001:20118 )
- 07
- 플라즈마 처리부를 포함하는 이동형 잔류가스 제거 장치 특허 출원
2022
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- 12
- 기술혁신형 중소기업(Inno-Biz)인증
- 10
- 위험성평가 인증기업
- 08
- 소재.부품.장비 전문기업확인서 취득
- 01
- 내일채움공제(청년내일채움공제, 재직자내일채움공제) 가입기업
2021
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- 11
- 한국에너지기술원 패밀리기업 지정
- 03
- 공정 잔류가스 처리용 이동형 퍼지 시스템 특허 취득
2020
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- 10
- 공정 잔류가스 처리용 이동형 퍼지 시스템 (PPS) 수행
- 09
- 압력센서 본질안전 인증(Ex ia IIC T4)
2019
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- 10
- 한국산업 안전보건공단 위험성평가 인정서 획득
2018
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- 10
- 고순도 가스 정제기 방폭 인증(Ex px IIC T4)
- 01
- 반도체 제조용 가스공급장치 특허 취득
2017
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- 05
- 수소화 기상 증착 장비 개발(Hydride VaporPhase Epitaxy)
- 03
- 반도체용 초임계 이산화탄소 가스 정제기 개발
2016
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- 05
- 회사 신축 및 확장 이전 (1공장, 2공장)
2015
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- 11
- XPS장비개발
- 09
- 압력센서 내압방폭인증 (Ex d IIC T6)
- 05
- 케미컬 누출 감지장치 개발 및 특허 취득
기업 부설 연구소 설립 - 02
- 메탄제거용 수소가스 정제기 개발 및 특허 취득
- 01
- 해양대 산학협력가족회사 인증
2014
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- 12
- 암모니아 정제기 개발 및 특허 취득
- 12
- 벤처기업 인증
- 10
- 공정가스 분배장치 개발 및 특허 취득
- 04
- 품질경영시스템 인증 획득(ISO 9001:2015/KS Q, ISO 9001:2015 )
- 03
- 회사 이전 (Class 100 Clean Room)
2013
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- 11
- CE 인증 취득
- 03
- 부식감지센서 개발 및 특허 취득
- 02
- 반도체장비용 압력센서 (Pressure Transducer 개발)
- 01
- 설립