반도체, 디스플레이 장비

Portable Purge System (이동형 퍼지 시스템)

휴대용 퍼지 시스템(PPS)은 잔류 가스를 안전하고 편리하게 처리하는 장치이다. 반도체 및 디스플레이 제조 공정 장비의 재배치, 해체, 교체 및 수리 등의 작업을 수행할 때 가스 공급 라인 내부에 남아 있는 위험한 공정 가스를 빠르고 안전하게 퍼징하는 새로운 장치다. 잔류가스를 제거하기 위해 기존 장비의 후단에 설치된 가스처리장치(gas scrubber)를 통해 가스를 배출하고, 청정가스를 다시 투입하고, 누설검사를 실시하고, 작업을 수행한다. 따라서 공정장비를 제거, 해체, 교체, 수리하는 데 많은 시간이 소요되고 불필요한 대기시간이 많았지만 PPS는 모든 문제를 해결할 수 있다. 이 장치는 가스 정제기, 가스 캐비닛 및 가스 스크러버를 동시에 수행하도록 설계된 세계 최초의 발명품입니다.
특허 제10-2236006

시스템 특성과 안전성

가스캐비닛의 기능인 누출 검사, 유량 조절, 사이클 퍼지 및 안전장치들과 99.9999%(8Nine) 이상의 정제 기능의 가스 정제기, 그리고 배관에서 위험한 잔류 가스를 안전하게 제거하기 위한 고성능 카트리지 컬럼을 이용한 가스 스크러버 기능까지를 포함한다. 또한 블로어를 사용하여 공정 가스를 배출할 수 있는 능력을 갖춘 세계 최초의 발명품입니다.