반도체, 디스플레이 부품

GL IGS-Series (IGS용 압력센서)

GL IGS 시리즈는 고청정 압력 변환기는 최신의 금속 박막 기술을 이용한 센서로써 내부 부피가 매우 낮고 장기적 안정성이 우수하며, 가스 공급 시스템, 가스 분배 시스템, 공정 장비에 적용할 수 있는 고품질 제품입니다.
리더스앤글로벌은 반도체, 디스플레이, LED, 태양 전지 산업을 위한 고청정 제품 제조를 전문으로 합니다.
우리는 당신에게 최고의 품질, 서비스를 위해 최선을 다하고 깊은 인상을 주기 위해 지속적으로 노력할 것을 약속합니다.

특징 / 주요 사양

CE Certified/RoHS compliant



Superior Long Term Stability (instability and output errors due to Joule-Thomson effects(cooling effects))



Hastelloy for corrosive gases, Stainless Steel 316L (Double-Melt available)



The circuits are isolated from external interferences with EMI/EMC filters



Electro-polished Stainless Steel 316L gas-wetted materials and Cleaning and Package in classroom zone ±0.5% Repeatability, ±0.25% Accuracy



Products are designed with specific functional industry standards(ISA, SEMI, SEMASPEC, ASTM, ASME, FM Approval)



-Compactness



- Reliability



- Easy installation and maintenance



- Standardization



- High performance of key technology





적용분야

IGS(Integrated Gas delivery System) block module for Process Tools in Semiconductor or Display Industry