흡착, 촉매 그리고
게터 혼용 정제기술

POU(Point-of-Use) 및 인라인 가스 정제기는 안전하게 일관되고 반복 가능한 프로세스 성능을 보장할 뿐만 아니라 중요 프로세스 영역을 사내 가스 분배 시스템으로부터 격리하고 가스 순도의 기복 및 교차 오염으로부터 보호하여 수명을 연장하고 출구 순도를 ppt 수준으로 개선하도록 설계되었습니다. 게다가 광범위한 가스 호환성, 저압 강하 기능이 있으며 재생 가능하므로 폐기 문제 및 비용을 제거하고 소유 비용(COO)을 개선할 수 있습니다. 또한 불순물과의 비가역적인 화학적 결합 때문에 게터 기반의 정제기를 제외하고는 상온에서 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 그러나 게터 기반의 정제기는 수소(H₂), 질소(N₂), 희소가스에 대한 불순물을 가장 완벽하게 제거하고 공정 가스에서 모든 탄화수소와 질소를 제거할 수 있는 유일한 가스 정제 기술입니다. 최적화된 설계로 POU 정제기의 경우 최대 150 slpm, In-line정제기의 경우 최대 1,000 slpm의 유량으로 실린더 또는 액체 소스의 가스보다 우수한 sub-ppb 성능을 제공합니다.

정제가스: 질소(N₂), 수소(H₂), 산소(O₂), 알곤(Ar), 희소가스 (He, Ne, Xe, Kr) 그리고 특수가스(NH₃, HCl, Cl₂, CF₄, C₂F₆, SF₆)