반도체, 디스플레이 장비

Getter (게터)

반도체, LCD/OLED, 솔라셀 및 LED 애플리케이션을 위한 서브-ppb 레벨 불순물 가스를 제공하도록 설계된 게터 정제기는 가열된 게터 기반 정제기술이다. 게터 재료(지르코늄 및 그 합금)는 비가역적인 화학 결합을 결합하여 불순물을 제거하고 고온에서 작동하여 정화한다. 일단 컬럼(Bed)이 가스 정제로 수명이 다되면 새로운 컬럼(Bed)을 교체할 수 있습니다. O₂, CO, CO₂, H₂O, H₂, CH₄(THC, NMHC) 및 N₂의 outlet 불순물 수준은 sub-ppb 농도로 감소된다. 수소 제거 유닛의 게터 카트리지는 상온에서 작동하여 수소 불순물을 제거할 수 있다. 10 내지 200 Nm³/h의 높은 유량까지 제조될 수 있다.

정제가스 : 아르곤(Ar), 헬륨(He), 수소(H₂), 질소(N₂) 및 희소가스 (Kr, Ne, Xe)

특징

  • Small footprint with compact design,
  • Safety Alarms and Interlock for High Temperature, Leakage, Over Pressurization
  • Safety Relief Kit and Leak Detection
  • Enhanced PLC Controller and electronics box designed for simple operation and reliability
  • All Metal Enclosure, 316L stainless steel electropolished wetted surface finish
  • Splendid Pre-heaters and Air Cooled Heat Exchanger
  • Fully automatic Bypass



선택 사양


  • Moisture Analyzer

  • Auto or Manual Bypass manifold kit

  • MFM(Mass Flow Meter)

  • UPS(Uninterrupted Power Supply) or Battery Back-up

  • 0.003㎛ Metal Particle Filter

  • Isolation Valves and Pressure Transducers on downstream and upstream





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