반도체, 디스플레이 장비

CO₂ (이산화탄소 고순도 정제기)

자동 재생 가능한 흡착 및 가열촉매 정화기술
sub-ppb 또는 ppt 성능을 제공하는 이산화탄소(CO₂) 가스 정제 시스템은 고품질 촉매 및 흡착을 사용하여 공정 가스의 불순물을 제거하도록 설계되었다. 이러한 물질은 다운타임 없이 이중 컬럼(Bed)을 사용하여 완전히 정제한다. 두개 컬럼(Bed)이 정화 모드와 재생 모드 사이에서 번갈아 작동됩니다. 불순물 레벨은 서브-ppb 이하 또는 ppt 농도로 감소된다. 상기 정제기는 반도체, 평판 디스플레이, LED 및 태양전지 응용을 위한 초고순도 가스를 제공하도록 이중 컬럼으로 공정 설계되어 사용하며, 5 에서 500 Nm³/h까지 높은 유량으로 제작 할 수 있으며 사용압력도 200barg(3000psig)까지 고압으로 제조할 수 있다.
리더스앤글로벌은 저비용, 고성능 및 신뢰성의 요구를 충족시키기 위해 정제기 제조에 오랜 경험을 가지고 있습니다.

특징

  • Safety Alarms and Interlock for High Temperature, Leakage, Over Pressurization
  • Enhanced PLC Controller and electronics box designed for simple operation and reliability
  • All Metal Enclosure
  • High efficiency Preheaters and Heat Exchanger
  • Closed-Loop System for Temperature Control



선택 사양


  • Communication Module(RS422/485, MODBUS, TCP/IP(Ethernet))

  • Auto or Manual Bypass manifold kit

  • MFM(Mass Flow Meter)

  • UPS(Uninterrupted Power Supply)

  • 0.003㎛ Metal Particle Filter

  • Isolation Valves and Pressure Transducers on downstream and upstream





CO₂ (이산화탄소 정제기).pdf첨부파일