XPS (초고순도 공기 정제기)
GL-XPS-N 시리즈는 리더스앤글로벌의 최첨단 정제 기술의 발전으로, 휘발성 염기(NH₃), 휘발성 산(SO₂), 응축성 유기체(톨루엔), 내화성 화합물(HMDSO), 수분(H₂O)과 같은 가스 오염물을 제거함으로써 ppt 수준에서 출구 순도를 제공한다. 이 시스템은 초고순도 에어 정제기(XPS)를 레티클과 웨이퍼 스타커뿐만 아니라 ArF 건식 및 침지 리소그래피 장비를 포함한 최신 스캐너 플랫폼에도 사용한다. 즉, 현장 재생 기술을 기반으로 상온에서 정제를 하고 , 자동적으로 자기 재생 및 전환은 물론 두 개의 컬럼(Bed)을 이용하여 자동퍼징 및 컨디션닝을 한다. 결과적으로, 이 시스템은 안전을 향상시키고 인간의 실수나 환경 문제를 제거한다.