반도체, 디스플레이 장비

XPS (초고순도 공기 정제기)

GL-XPS-N 시리즈는 리더스앤글로벌의 최첨단 정제 기술의 발전으로, 휘발성 염기(NH₃), 휘발성 산(SO₂), 응축성 유기체(톨루엔), 내화성 화합물(HMDSO), 수분(H₂O)과 같은 가스 오염물을 제거함으로써 ppt 수준에서 출구 순도를 제공한다. 이 시스템은 초고순도 에어 정제기(XPS)를 레티클과 웨이퍼 스타커뿐만 아니라 ArF 건식 및 침지 리소그래피 장비를 포함한 최신 스캐너 플랫폼에도 사용한다. 즉, 현장 재생 기술을 기반으로 상온에서 정제를 하고 , 자동적으로 자기 재생 및 전환은 물론 두 개의 컬럼(Bed)을 이용하여 자동퍼징 및 컨디션닝을 한다. 결과적으로, 이 시스템은 안전을 향상시키고 인간의 실수나 환경 문제를 제거한다.

시스템 특성과 안전성

오염물질 제거 효율은 ppt 레벨에서 극도의 청결한 공정과 낮은 압력 강하를 보장하며, 난방 키트가 필요하지 않고 상온에서 사용하여 낮은 유지비용을 보장한다. 시스템 신뢰성에 의해, 전력 고장은 XPS를 손상시키지 않을 것이다. 최적화된 현장 운영 기술은 고객에게 자동 재생을 제공하여 초고순도 공기가스의 지속적인 흐름을 보장하고 가스 흐름을 처리하기 위한 중단을 줄입니다. 이 시스템은 설치, 현장 서비스 및 업그레이드가 용이하게 설계되었다.