반도체, 디스플레이 부품

GL ExP-Series (내압방폭)

GL Exp 시리즈는 초고순도 압력 변환기는 금속 박막 센서기술를 이용한 제품으로 내부 부피가 매우 낮고 장기적 안정성이 매우 우수합니다. 특수 가스 설비 중에 위험하고 가혹한 조건에서 사용할 수 있다. 가스 공급 시스템, 가스 분배 시스템, 공정 장비 등에 사용하기 위해 만든 매우 향상된 제품입니다.

특징 / 주요 사양


  • Explosion protection / Ignition protection type (Ex d IIC T6)

  • CE Certified / RoHS compliant

  • Superior Long Term Stability (instability and output errors due to Joule-Thomson effects (cooling effects))

  • Hastelloy Diaphragm for corrosive gases, Stainless Steel 316L (Double Melted available)

  • The circuits are isolated from external interferences with EMI/EMC filters

  • Electro-polished Stainless steel 316L gas-wetted materials and Clearing and Package in classroom zone

  • ±0.1% Repeatability, ±0.25% Accuracy

  • Products are designed with specific functional industry standards (ISA, SEMI, SEMASPEC, ASTM, ASME, FM Approval)