반도체, 디스플레이 장비

Adsorption & Catalyst & Getter (흡착 & 촉매 & 게터)

흡착, 촉매 및 게터 정제기는 게터 및 흡착 촉매를 조합한 정제 기술로 초고순도 가스를 제공합니다. 출구 불순물 수준은 10억(ppb) 농도로 감소한다. 흡착-촉매층(column, vessel) 2개는 O₂, CO, CO₂, H₂O를 제거하고, 하류 게터층(column, bed)은 고온에서 작동하여 N₂와 CH₄를 제거한다. 두 컬럼(Bed)은 정제와 재생 모드를 번갈아 가며 지속적인 작동하여 정제가스를 제공한다. 흡착-촉매 재생은 정제된 수소와 함께 높은 온도에서 역세척 함으로써 이루어진다. 상기 정제기는 반도체, 평판 디스플레이, LED 및 태양 전지 응용을 위한 초고순도 가스를 제공하도록 설계된 다수의 컬럼 공정을 사용하며, 5 내지 6600 Nm³/h의 높은 유량으로 선택적으로 200barg(3000psig)까지 제조될 수 있다.
리더스앤글로벌은 저비용, 고성능 및 신뢰성의 요구를 충족시키기 위해 정제기 제조에 오랜 경험을 가지고 있다.

정제가스 : 아르곤(Ar), 헬륨(He), 수소(H₂), 질소(N₂) 및 희소가스 (Kr, Ne, Xe)

특징

  • Safety Alarms and Interlock for High Temperature, Leakage, Over Pressurization
  • Safety Relief Kit and Leak Detection
  • Enhanced PLC Controller and electronics box designed for simple operation and reliability
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  • All Metal Enclosure, 316L stainless steel electropolished wetted surface finish
  • Splendid Preheaters and Walter Cooled Heat Exchanger
  • Redundant Closed-Loop System for Temperature control



선택 사양


  • Moisture Analyzer

  • Auto or Manual Bypass manifold kit

  • MFM(Mass Flow Meter)

  • UPS(Uninterrupted Power Supply) or Battery Back-up

  • 0.003㎛ Metal Particle Filter

  • Isolation Valves and Pressure Transducers on downstream and upstream